產品概要：

TS3000-SE是TS3000探針臺系統的升級開發，該系統配備了MPI ShielDEnvironment™，可實現超低噪聲環境，滿足設備的需求表征。

產品優勢：

1、適用于多種晶圓量測應用

2、模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

3、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

4、可靠性測試 - 精確的壓力測試

5、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

6、專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量境，以得到 1/f 超低噪測試結果

7、支援 fA 級超低噪 IV 量測

8、可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作

9、具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C

產品應用：

可用于多種晶圓量測應用，晶圓級可靠性測試以及RF和mmW等多種應用。