MPI TS2000-SE半自動探針臺

產品介紹：

MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是具有創新功能的200mm自動化晶圓測試系統，其包含獨特的側面自動裝卸功能和超高屏蔽下的超低噪聲環境。

產品優勢：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一個高性能的微屏蔽暗箱，可為超低噪聲，低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境

2、自動化晶圓裝載系統

該功能提供了非常方便的晶圓裝載，并且易于針對自動程序進行預對準，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓，針對高低溫環境下可提高測試效率

3、ERS獨特的 AC3冷卻技術

MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統，可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment，可大幅減少30%至50%的空氣消耗

4、側視影像系統(VCE)

借助MPI 8寸探針臺獨特的自動側視– VCE影像系統可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸，使用DC或RF等探針卡非常安全

產品應用：

1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析 - 探針卡 / 節間探測

4、可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試

5、高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境

7、支持飛安級低漏電值量測

8、支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

讀出電路測試模塊

1、分析系統主要由系統硬件、控制軟件和數據處理軟件三部分組成。

系統硬件由設備控制單元、信號調理及數據采集系統、多路(矩陣)開關、產品測試接口盒、示波器及數字萬用表等組成；軟件部分可實現與半自動探針臺的實時通訊，完成對電路的半自動測試及測試結果輸出，由主程序、參數設置界面、測試界面等組成。

2、配合半自動探針臺可實現數據采集、處理以及結果的評判等功能。