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交付案例

英鉑助力XXX公司搭建高低溫低漏電載物臺承載系統返回列表

裝機產品：高低溫載物臺系統

產品介紹：

高低溫載物臺系統提供晶圓級承載，具備可變溫環境，可滿足測試如射頻、高壓、直流等晶圓的承載作用，可與多種機型搭配。

產品優勢：

• 具備氣冷式降溫凹槽式設計，具備12英寸、8英寸或定制6英寸可選尺寸，具備最小吸附樣品尺寸4*4mm

• 表面材質可選，如鍍金或者鍍鎳，適用于不同測試應用，可選密孔

• 真空吸附可獨立控制范圍，

•  選配陶瓷射頻載物臺

•  可選配背電極，漏電＜1pA

•  高功率最大可滿足 10KV/200A 的選配

•  滿足-60℃-300℃最大溫區

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