英鉑助中國科學院化學所搭建8寸晶圓載片參數矩陣測試系統返回列表

MPI TS2000-SE半自動探針臺
產品介紹:
MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是具有創新功能的200mm自動化晶圓測試系統,其包含獨特的側面自動裝卸功能和超高屏蔽下的超低噪聲環境。MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺發布新功能,側面帶有VCE,可完美解放您的雙手,實現精準定位,完成自動扎針,使測試過程更加方便快捷。
產品優勢:
1、ShielDEnvironment
MPI ShielDEnvironment是一個高性能的微屏蔽暗箱,可為超低噪聲,低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境
2、自動化晶圓裝載系統
該功能提供了非常方便的晶圓裝載,并且易于針對自動程序進行預對準,可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓,針對高低溫環境下可提高測試效率
3、ERS獨特的 AC3冷卻技術
MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統,可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment,可大幅減少30%至50%的空氣消耗
4、側視影像系統(VCE)
借助MPI8寸探針臺獨特的自動側視– VCE影像系統可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸,使用DC或RF等探針卡非常安全
產品應用:
1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
3、失效分析 - 探針卡 / 節間探測
4、可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試
5、高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A
6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境,專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境
7、支持飛安級低漏電值量測
8、支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C
是德科技B1500A分析儀
產品介紹:
B1500A 半導體器件分析儀將多種測量和分析功能整合到一臺儀器中,可精確快速地進行器件表征。它能夠提供廣泛的器件表征功能以及出色測量可靠性和可重復性的多功能參數分析儀。可以執行從基本的電流 - 電壓(IV)和電容 - 電壓(CV)表征到快速、精準的脈沖 IV 測試的全方位測量。
產品優勢:
- 低電壓和小電流的精確表征
- 無需重新連接電纜即可在 CV 和IV測量之間進行切換
- 保持出色的小電流測量分辨率(使用 SCUU 時最小為1fA,使用 ASU 時最小為 0.1 fA)為被測器件提供完整的 CV補償輸出
- 捕獲傳統測試儀器無法精確測量的超快速瞬態現象
- 縮短從學習儀器使用、進行測量到熟練操作儀器所需的時間
- 交互式地開發測試,并即時查看器件特征
- 無需使用任何其他設備便可對電流和電壓脈沖進行驗證(MCSMU提供示波器視圖)
- 自動分析測量數據,無需使用外部 PC
- 自動存儲測量數據和測試條件,日后快速調用此信息
產品應用:














