產(chǎn)品介紹：

YB600是150mm手動探針臺系統(tǒng)，可以提供準(zhǔn)確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測量。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、單機(jī)多應(yīng)用設(shè)計

•適用于多種晶圓/集成電路/功率器件/光學(xué)材料量測應(yīng)用，如射頻和 DC、IV/CV 測試晶圓級可靠性

2、具備工效學(xué)設(shè)計

•XY 軸微調(diào)設(shè)計/Y 軸快速導(dǎo)入導(dǎo)出/載物臺設(shè)計

•堅固且可乘載多達(dá) 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作臺

•兩段式工作臺快升把手設(shè)計,接觸(contact） - 分離（loading)，實現(xiàn)高可靠性、高效率性

•具備英鉑科學(xué)儀器獨有專利技術(shù)的氣浮式移動樣品臺，搭配微調(diào)千分尺

3、彈性選配與升級性

•另有多種晶圓載物臺可做升級，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學(xué)顯微鏡、電磁屏蔽箱/防震系統(tǒng)可搭載，以完全支援您的應(yīng)用需求

4、高壓人機(jī)安全防護(hù)設(shè)計

•Platen 底部特征聚合物高壓防護(hù)設(shè)計

•Chuck 獨特安全隔離防護(hù)設(shè)計

•采用德國 PEEK 雙層高壓防護(hù)環(huán)套設(shè)計的針桿（標(biāo)準(zhǔn) SHV Coaxial 接口）通用

keithley&keysight 高壓儀表

•紅外感測 interlock 安全互鎖機(jī)制

產(chǎn)品應(yīng)用：

該系統(tǒng)主要應(yīng)用于晶圓級高頻電學(xué)特性的測試，可升級最高頻可達(dá)110G測試，滿足于6寸及以下產(chǎn)品應(yīng)用。具備多模塊應(yīng)用升級，如高溫，防震屏蔽，光學(xué)等。