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TS150-THZ
產(chǎn)品概要:
MPI TS150-THZ是150 mm高頻專用探針臺,旨在對基板和150 mm晶圓進(jìn)行精確分析。
基本信息:
TS150-THZ可以支持多種RF和毫米波(mmW)應(yīng)用,例如高達(dá)1.5THz的寬帶,帶狀波導(dǎo),次THz,負(fù)載牽引和RF噪聲。它提供了很強(qiáng)的功能:
1、無縫集成任何高達(dá)1.5 THz的寬帶,差分或?qū)拵U(kuò)頻器
2、不錯(cuò)的機(jī)械穩(wěn)定性和可重復(fù)性,結(jié)合方便和安全的操作
3、小化測量路徑以獲得較佳的測量方向性
技術(shù)優(yōu)勢:

卡盤移動系統(tǒng)
TS150-THZ具有10mm的精確卡盤Z調(diào)整,旨在靈活地集成不同的擴(kuò)頻器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。 在同一探頭系統(tǒng)上使用多個(gè)彎曲解決方案進(jìn)行設(shè)置時(shí)極為有利,可以輕松快速地進(jìn)行設(shè)置。

MicroPositioners的多種配置
專用且極堅(jiān)固的探針壓板設(shè)計(jì)可容納兩個(gè)東西方向固定的MP80大面積MicroPositioner。 通過將兩個(gè)南北“電橋”作為標(biāo)準(zhǔn)配置,可以輕松進(jìn)行四端口RF測量或DC偏置。

探針座系統(tǒng)
獨(dú)特的MP80-DX具有低至1µm精確的清晰度,搭配三豐數(shù)顯千分尺。

成像系統(tǒng)
可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光學(xué)變焦高達(dá)12倍,工作距離超過45毫米。由于集成測試頭/調(diào)諧器固有的空間限制,因此這種顯微鏡的體積小,非常適合RF和mmW應(yīng)用。

多種卡盤選項(xiàng)
TS150-THZ提供多種卡盤選件,以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求,例如MPI的標(biāo)準(zhǔn)RF,帶BNC連接器;專用mmW 卡盤,完全內(nèi)置具有高導(dǎo)熱率(> 180W / Km)的特殊陶瓷;ERS AirCool射頻卡盤(溫度范圍從20°C到200°C,或更高),帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔。每個(gè)卡盤包括兩個(gè)用陶瓷材料制成的輔助卡盤,用于精確的RF校準(zhǔn)。
應(yīng)用方向:
TS150-THZ可以支持多種RF和毫米波(mmW)應(yīng)用,例如高達(dá)1.5THz的寬帶,帶狀波導(dǎo),次THz,負(fù)載牽引和RF噪聲。
TS150-THZ
TS150-THZ的模塊化設(shè)計(jì)概念為降低擁有成本提供了獨(dú)特的升級途徑

