今天向大家介紹一個組合，MPI探針臺+泰克半導體參數分析儀，兩者經常搭配使用，可用于晶圓級別可靠性，低漏電IV/CV直流器件，脈沖IV器件測試等多種測試，搭建晶圓級超低漏電器件陣列測試系統，滿足您的測試需求。此篇文章以MPI TS2000-SE探針臺+泰克4200-SCS為例，介紹該組合的配置和功能。

MPI TS2000-SE 探針臺

產品介紹：

MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是具有創新功能的200mm自動化晶圓測試系統，其包含獨特的側面自動裝卸功能和超高屏蔽下的超低噪聲環境。

產品配置：

MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺發布新功能，側面帶有VCE，可完美解放您的雙手，實現精準定位，完成自動扎針，使測試過程更加方便快捷。

產品優勢：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一個高性能的微屏蔽暗箱，可為超低噪聲，低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境

2、自動化晶圓裝載系統

該功能提供了非常方便的晶圓裝載，并且易于針對自動程序進行預對準，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓，針對高低溫環境下可提高測試效率

3、ERS獨特的 AC3冷卻技術

MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統，可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment，可大幅減少30%至50%的空氣消耗

4、側視影像系統(VCE)

借助MPI8寸探針臺獨特的自動側視– VCE影像系統可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸，使用DC或RF等探針卡非常安全

產品應用：

1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析 - 探針卡 / 節間探測

4、可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試

5、高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境

7、支持飛安級低漏電值量測

8、支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

泰克4200-SCS參數分析儀

產品介紹：

4200A-SCS是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V特性。作為性能較高的參數分析儀，4200A-SCS加快了半導體、材料和工藝開發速度。

產品配置：

●± 210 V/100 mA或± 210 V/1 A模塊

●100 fA測量分辨率

●選配前端放大器提供了10 aA測量分辨率

●10 mHz - 10 Hz超低頻率電容測量

●四象限操作

●2線或4線連接

C-V多頻率電容單元(CVU)

●AC阻抗測量(C-V, C-f, C-t)

●1 kHz - 10 MHz頻率范圍

●± 30 V (60 V差分)內置DC偏置源，可以擴展到± 210 V(420 V差分)

脈沖式I-V超快速脈沖測量單元(PMU)

●兩個獨立的或同步的高速脈沖I-V源和測量通道

●200 MSa/s，5 ns采樣率

●±40 V (80 V p-p)，±800 mA

●瞬態波形捕獲模式

●任意波形發生器，支持多電平脈沖波形，10ns可編程分辨率

產品優勢：

1、隨時可以投入使用、可修改應用測試、項目和器件，縮短測試開發時間

2、內置測量視頻的儀器，分為4種語言，縮短學習周期

3、pin to pad接觸檢查，確保測量可靠

4、多種測量功能，數據顯示、分析和代數運算功能

5、實時結果和參數，自動數據顯示、算法分析和實時參數提取功能，無需示波器檢驗脈沖測量，脈沖定時預覽模式可查看脈沖定時參數

產品應用：

MOSFET, BJT 晶體管；材料特性分析；非易失性存儲設備；電阻率系數和霍爾效應測量；NBTI/PBTI；III-V 族器件；失效分析；納米器件；二極管和 pn 聯結；太陽能電池；傳感器；MEMS器件；電化學；LED和OLED等。