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Elite Etch Cu 化學(xué)開封機
產(chǎn)品概要:
RKD的Elite Etch Cu是一臺可為銅線開封的化學(xué)開封機,通過集成了先進的特點來實現(xiàn)更高的產(chǎn)能。這臺開封機可以通過將精密分配微等分的硝酸、硫酸或混酸到樣品器件上,可開封直徑為0.8mil銅線的塑封料。
基本信息:
每一次微等分的酸被輸送到刻蝕腔內(nèi),由于泵產(chǎn)生的足夠大的壓力將會創(chuàng)造出非常大的湍流,可以極大的提高封裝材料的去除效率。對酸溫度的精密控制,并結(jié)合更高的分配效率使得對于銅線器件的開封不會產(chǎn)生引線或金屬化損傷。特殊設(shè)計的酸熱交換器能夠在高達8ml每分鐘的流量內(nèi)精的確將酸溫度控制在10℃到250℃范圍內(nèi)。即使是在低溫度時,高的酸脈沖率也能獲得合理的刻蝕時間。
技術(shù)優(yōu)勢:

Elite Etch Cu配置了一個酸控制器刻蝕頭,它是由優(yōu)質(zhì)碳化硅材料制造的,具有很強的耐酸性。刻蝕頭設(shè)計用于降低在開封工藝結(jié)束時殘留在刻蝕頭上殘留酸的煙化現(xiàn)象,對于操作員更加安全,并且對酸的清潔也更方便。器件壓制組件(壓桿芯頭)是氣動激活的推桿,壓桿芯頭正常狀態(tài)時縮回,當安全罩完全關(guān)閉時伸出,當刻蝕罩蓋下以后,壓頭自動從上到下直線移動,沿垂直方向直接將固定樣品或治具安全地固定刻蝕頭上,可以完全消除被刻蝕器件和治具的移動。

Elite Etch Cu 在瓶子容器和開封器之間的所有流體接口都采用雙重密封。瓶子容器組件和刻蝕機內(nèi)部都配置了流體傳感器,如果出現(xiàn)任何酸瓶或內(nèi)部裝置的酸泄漏,都會立即向操作員發(fā)出漏酸警 報。瓶子容器采用了通用的旋轉(zhuǎn)互聯(lián),使得酸瓶更換非常簡單,盡量避免接觸殘酸。

Elite Etch Cu開封機采用自動高低壓氣體轉(zhuǎn)換系統(tǒng)和安全蓋內(nèi)部安全氣壓補充,確保操作員安全,并且更加節(jié)省N2氣消耗。設(shè)備采用光 纖感應(yīng)傳感器檢測開封時刻蝕罩蓋上后的密合度。廢酸收集采用了獨特的冷卻熱交換系統(tǒng),可將廢酸冷卻至90℃及以下,用于將廢酸收集在一個廢酸瓶內(nèi),而無需兩個廢酸瓶以及硝酸硫酸轉(zhuǎn)換閥。單獨的手持式鍵盤控制,可以在通風(fēng)廚外面 進行控制避免酸對控制面板和電路的腐蝕。
應(yīng)用方向:
這臺開封機可以通過將精密分配微等分的硝酸、硫酸或混酸到樣品器件上,可開封直徑為0.8mil銅線的塑封料。
Elite Etch Cu 化學(xué)開封機

Elite Etch Cu 化學(xué)開封機


