概述

電阻率是決定半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的重要參數(shù)，為了表征工藝質(zhì)量以及材料的摻雜情況，需要測(cè)試材料的電阻率。半導(dǎo)體材料電阻率測(cè)試方法有很多種，其中四探針?lè)ň哂性O(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量精度高以及對(duì)樣品形狀無(wú)嚴(yán)格要求的特點(diǎn)。因此，目前檢測(cè)半導(dǎo)體材料電阻率，尤其對(duì)于薄膜樣品來(lái)說(shuō)，四探針是很常用的方法。

英鉑科學(xué)儀器的四探針?lè)y(cè)量半導(dǎo)體電阻率的測(cè)試方案，采用美國(guó)吉時(shí)利公司的高精度源表(SMU)，可以在輸出電流時(shí)測(cè)試電壓，也可以在輸出電壓時(shí)測(cè)試電流。輸出電流范圍從皮安級(jí)到安培級(jí)可控，測(cè)量電壓分辨率高達(dá)微伏級(jí)。支持四線開(kāi)爾文模式，適用于四探針測(cè)試，可以簡(jiǎn)化測(cè)試連接，得到準(zhǔn)確的測(cè)試結(jié)果。

上位機(jī)軟件CycleStar指導(dǎo)電阻率測(cè)試步驟，測(cè)試方法清晰明確，即使不熟練的工程師也能迅速掌握測(cè)試方法。

內(nèi)置電阻率計(jì)算公式，測(cè)試結(jié)束后直接從電腦端讀取計(jì)算結(jié)果，方便靈活的做后續(xù)處理分析系統(tǒng)主要由源測(cè)量單元、探針臺(tái)和上位機(jī)軟件組成。四探針可以通過(guò)前面板香蕉頭或者后面板三同軸接口連接到源表上。