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MSA-100-3D顯微式激光測振儀
產品概要：
MEMS 和微系統的3D 振動測量，實物振動通常是三維振動。誠然，您可選擇優先顯示某特定方向的振動，但由于存在產品公差和其它影響，其它空間方向也會產生運動分量。 MSA-100-3D 顯微系統分析可在大帶寬范圍內實時測量樣本的動態特性，高分辨率同時記錄和分析XYZ三個方向的振動分量，每向的振幅分辨率均達到亞皮米級。
基本信息：
因為在3D 真實的生活中運動
因激光光斑極小，所以橫向分辨率極高，且帶寬高達 25 MHz，Polytec的MSA-100-3D 是用于微機電傳感器和致動器 (MEMS) 以及其他微結構的振動測量的理想設備。通過軟件移動樣品，MSA-100-3D 完成樣品整個表面的振動分析，然后以圖形方式顯示振型。
技術優勢：
·實時振動測量，高達 25 MHz 的大帶寬
·用于面外和面內振動測量，振幅分辨率達亞皮米級
·單點式和全場掃描式振動測量
·激光光斑小于 4光斑，橫向分辨率極高
·測試距離大，可達38 mm
·可與普通 MEMS 探針測試臺兼容
應用方向：
主要應用于生物學和醫學、微納米技術，可以非接觸式測量生物醫學樣品、電子元件和微結構如MEMS等精密結構的振動、聲學和動力學特性。
