MSA-600 顯微式激光測振儀

產品概要：

表面形貌、動態特性分析及可視化是顯微結構（如MEMS器件）測試和開發的關鍵。這對于驗證有限元算法、確定串擾影響和測量表面形變等都至關重要。

MSA-600-M/V型的測量帶寬高達25MHz，適用于MEMS、MEMS麥克風和其它微系統的振動測試。全新研發的MSA-600-X/U型的測量帶寬更是高達2.5GHz，尤其適用于高頻MEMS諧振器、微聲器件如SAW、BAW等振動測試。MSA-600-S可用于結構振動測試和表面形貌測試。MSA-600-S可測試高頻設備，如FBAR(薄膜體聲諧振器)，以及其它GHz諧振器和設備。

基本信息：

基于MEMS系統的一體化光學測量解決方案

基于MEMS系統的MSA-600顯微式激光測振儀，集多種測量功能于一體，其不僅能測量面內振動和面外振動，還能測量表面形貌。系統具有極高的靈活性和精度，以滿足顯微結構未來的發展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態和靜態響應數據，在降低開發和制造成本的同時提高產品性能，從而縮短設計周期，簡化故障處理，提高產品產量。

高性能激光多普勒測振儀能快速進行實時測量，位移分辨率達亞pm級。白光干涉儀可以在幾秒鐘內提供數以百萬計的三維表面形貌數據。MSA-600的用戶界面直觀，操作簡便，是一款用于研究、開發和質量控制的功能強大的光學測量系統。系統易于集成至常見的商用探針臺上，從MEMS原型設計到測試和故障排除，其能在各個開發階段給您提供幫助，從而降低生產成本并縮短產品上市時間。

專門針對MEMS的6 GHz測試解決方案

MSA-600-S可用于結構振動測試和表面形貌測試，最高頻率高達6 GHz!是用于研發GHz設備質量控制過程中的參數評估、以及測試器件性能和可靠性的不二之選。MSA-600-S可測試高頻設備，如FBAR(薄膜體聲諧振器)，以及其它GHz諧振器和設備。

 

技術優勢：

應用方向：

主要應用于生物學和醫學、微納米技術，可以非接觸式測量生物醫學樣品、電子元件和微結構如MEMS等精密結構的振動、聲學和動力學特性。

MSA-600 顯微式激光測振儀

MSA-600 顯微式激光測振儀

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